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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 金屬 » 交流互助 » 單面拋光重摻雜硅片如何加電壓？
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單面拋光重摻雜硅片如何加電壓？ 已有1人參與
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| 看文獻一般做場效應管都是用重摻雜硅片做襯底，生長二氧化硅介質層后，再生長一層石墨烯或其它材料。源和漏極加載在石墨烯上，但柵極電壓Vg是加載在硅襯底上的。一般都只有個示意圖，有人知道這個電壓Vg具體是怎么加的嗎？是在硅背面用導電膠嗎?是否拋光是否有影響？是否還要除掉背面表面的自然氧化層呢?菜鳥請教，請勿見笑。多謝了！ |
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2樓2015-04-25 16:27:06
lvjfwill
銅蟲 (初入文壇)
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- 專業(yè): 半導體材料
3樓2015-12-02 15:35:43
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