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麥兜學(xué)化工新蟲 (小有名氣)
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[求助]
化學(xué)氣相沉積 已有1人參與
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| 本人想利用化學(xué)氣相沉積制備粉末（管式爐內(nèi)反應(yīng)）。很多以前的文獻報道該反應(yīng)都是在基底上沉積成涂層或者是薄膜，提出的該過程的反應(yīng)機理也都是表面反應(yīng)。請問各位前輩，如何控制條件使反應(yīng)為氣相反應(yīng)，以便均相成核，生成粉末顆粒呢？拜托了 |
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【答案】應(yīng)助回帖
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麥兜學(xué)化工: 金幣+15, ★★★很有幫助 2015-09-09 09:41:27
麥兜學(xué)化工: 金幣+15, ★★★很有幫助 2015-09-09 09:41:27
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氣相沉積無論是CVD還是PVD，產(chǎn)物主要都以厚度小的薄膜或厚度大的涂層為主。無論是控制反應(yīng)時間，反應(yīng)前驅(qū)體流量比，沉積溫度等，均經(jīng)過非均相成核-晶粒長大-成膜的過程。要通過控制反應(yīng)參數(shù)制備粉末，CVD或PVD目前基本不可能，因為它的生長特性決定：晶粒的生長是朝著空間三維方向，無論是初期濃度低時的化學(xué)反應(yīng)動力學(xué)控制（表面反應(yīng)），還是后期濃度較大時的質(zhì)量傳輸控制（擴散控制），在一定的形核密度下，晶體有自發(fā)成膜的趨勢，以滿足表面能量最低的要求。 即使在濃度特別大，即過飽和度極端的條件下，在極短的沉積時間內(nèi)，涂層顆粒雖然會以長大為主，涂層呈疏松狀，但局部區(qū)域也會形成薄膜，不會是粉末顆粒。 獲得粉末的方法，或許可以將制備的薄膜取下，然后粉末化。 說的比較啰嗦，希望對你有所幫助。 |
2樓2015-09-08 09:41:11
麥兜學(xué)化工
新蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 946.2
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3樓2015-09-09 09:41:19
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