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學習娃子新蟲 (初入文壇)
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PZT薄膜中的缺陷導電問題 已有1人參與
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在PZT薄膜中,鉛揮發(fā)后的薄膜內(nèi)部存在很多鉛空位,會形成負電中心 ,為保 持電中 性,會產(chǎn)生帶正電的氧空位 , 使薄膜成為 p 型導電膜,這句話怎么理解啊 Pb空位的形成會導致空穴導電,但是O空位不是會形成電子導電嗎,這個怎么回事P型導電,求高手解答,萬分感謝! |
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在半導體理論里沒有這種說法,多數(shù)氧化物半導體呈n型或P型導電,是因為非化學計量缺陷、元素替位和非故意摻雜; 非化學計量很好理解,PZT中鉛是+2價的,Pb揮發(fā)后,就會使PZT非化學計量,也就等于部分+2的Pb,轉(zhuǎn)變?yōu)?4價的Pb,化學式變?yōu)镻b1-y(Zr0.5,Ti0.5)O3,薄膜為P型導電,這種在氧化物半導體中很多,如P型Cu2O里面存在Cu+2價,因此可寫成Cu2-xO,n型TiO2,存在O空位,因為O只有-2價一種,因此得反過來想,存在Ti3+,寫成TiO2-x; 然而,化合物中,有Pb空位,產(chǎn)生受主,也有可能有O空位,產(chǎn)生施主,這兩種缺陷相互耦合抵消,因此理論上,惰性氣體保護燒結(jié),產(chǎn)生O空位,有利于降低PZT的導電性,降低漏電。 替位缺陷,Zr、Ti替位Pb,是施主,是否可行我不知道,也會使薄膜偏N型,抵消pb空位,使薄膜空穴減少! 非故意摻雜,原材料純度不夠,引起外來離子的摻雜,N,P型要看雜質(zhì)種類和數(shù)量。 |
新蟲 (初入文壇)
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