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風(fēng)雨草金蟲(chóng) (小有名氣)
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固定床質(zhì)量流量控制器與背壓閥出問(wèn)題 已有4人參與
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質(zhì)量流量控制器是七星D07-11C,反應(yīng)器后的背壓閥是熊川的,F(xiàn)在進(jìn)行固定床調(diào)試時(shí)出問(wèn)題了。MFC設(shè)置為最大量程300mL/min,通氣后流量顯示在300-301之間波動(dòng),倒是還算穩(wěn)定,調(diào)節(jié)流量計(jì)前面的穩(wěn)壓閥和反應(yīng)器后面的背壓閥使得流量計(jì)前面壓力為4.5MPa左右,流量計(jì)后面壓力為4.0MPa左右,流量計(jì)前后壓差0.5MPa左右,調(diào)好后整個(gè)固定床氣路通暢,出口處有氣體流出,我在出口處接了一個(gè)水瓶來(lái)看出氣情況,發(fā)現(xiàn)出口出氣越來(lái)越少,大概一個(gè)小時(shí)就不出氣了,流量計(jì)后面壓力表示數(shù)有了稍微升高到4.2MPa左右。不出氣后,我稍微轉(zhuǎn)動(dòng)一下背壓閥,就又開(kāi)始出氣了!然后就又會(huì)開(kāi)始慢慢出氣量減少,直到不出氣。我實(shí)在不知道是那塊出問(wèn)題了!我懷疑可能是以下問(wèn)題: 1,管路漏氣,我之前檢漏過(guò),不漏氣,就算漏,也可能是微漏! 2,質(zhì)量流量控制器出問(wèn)題了,因?yàn)槲易罱褪窃谡{(diào)質(zhì)量流量控制器,發(fā)現(xiàn)在高壓下(1MPa)改變流量的設(shè)定值,比如設(shè)定為300,240,180,120mL/min等流量時(shí),反應(yīng)器出口流量沒(méi)變化,而常壓下還算有變化。(質(zhì)量流量控制器參數(shù):耐壓10MPa,量程300mL/min) 3,背壓閥可能出問(wèn)題了。但是這背壓閥是我兩星期前剛換的。(不是新的,是以前壞了返廠修過(guò)的) 所以請(qǐng)各位大牛們幫我分析分析到底是哪兒出問(wèn)題了!在此謝過(guò)了! ![]() 另補(bǔ)充一點(diǎn):就是按上面說(shuō)的不出氣之后,我調(diào)節(jié)背壓閥有時(shí)調(diào)的時(shí)候會(huì)突然出口出氣很劇烈(從出口接的水瓶判斷的),這時(shí)候流量顯示器的顯示讀數(shù)會(huì)很快下降到15左右(原來(lái)是300).然后將背壓閥關(guān)死點(diǎn)出口氣流變小,流量顯示器讀數(shù)會(huì)慢慢升高至300. |
專(zhuān)家顧問(wèn) (著名寫(xiě)手)
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應(yīng)該是背壓閥沒(méi)有調(diào)整好位置,我們實(shí)驗(yàn)室經(jīng)常使用這種微反,正確的操作步驟應(yīng)該是: 1、通過(guò)流量計(jì)旁路將反應(yīng)器充壓至壓力稍高于反應(yīng)壓力(比如反應(yīng)壓力4.0MPa,就充壓至4.5MPa)。 2、關(guān)閉流量計(jì)前后球閥,調(diào)節(jié)背壓閥,直至后路有氣體出氣(這個(gè)可以看后面接的水瓶的氣泡情況)。出氣不能太大,待不出氣泡后看看反應(yīng)器壓力是否到達(dá)4.0MPa。若高于4.0MPa,再重復(fù)上述操作,一定要注意出氣時(shí)不能氣泡冒得太大,應(yīng)為背壓閥會(huì)有滯后,可能背壓閥背的壓力為4.2MPa,但氣泡冒得太大,反應(yīng)器的壓力可能就能泄到4.0MPa,這時(shí)候就會(huì)有進(jìn)氣但不出氣,直到反應(yīng)器壓力升至高于4.2MPa再出氣,如果流量計(jì)前面的壓力不能高于反應(yīng)器壓力至流量計(jì)運(yùn)行所需數(shù)值,流量計(jì)就會(huì)不工作了(就像樓主說(shuō)的情況)。 3、待調(diào)節(jié)反應(yīng)器壓力為4.0MPa,且后路有少量溫度氣泡時(shí),保持流量計(jì)前路壓力略高于反應(yīng)器壓力0.5MPa(有的也會(huì)低于這個(gè)數(shù)值,這就要看流量計(jì)的工作壓差了,不是流量計(jì)上標(biāo)的,而是評(píng)以前的使用經(jīng)驗(yàn),不同的流量計(jì)都不太相同,而且由于減壓閥后的壓力表精度一般都低于反應(yīng)器上的壓力表精度,所以這個(gè)數(shù)就不太準(zhǔn)確,一般是慢慢調(diào)節(jié)減壓閥直至流量計(jì)能保持在可接受的范圍內(nèi)波動(dòng),準(zhǔn)確的話,300mL/min上下波動(dòng)不會(huì)大于10)。 4、待反應(yīng)器出氣順暢了就OK了。 根據(jù)樓主說(shuō)的情況可能是以下情況中的一種: 1、調(diào)節(jié)背壓閥時(shí),因氣泡出的太大,使反應(yīng)器中的壓力低于了背壓閥的背壓壓力,就如我前面講的:可能背壓閥背的壓力為4.2MPa,但氣泡冒得太大,反應(yīng)器的壓力可能就能泄到4.0MPa,這時(shí)候就會(huì)有進(jìn)氣但不出氣,直到反應(yīng)器壓力升至高于4.2MPa再出氣,如果流量計(jì)前面的壓力不能高于反應(yīng)器壓力至流量計(jì)運(yùn)行所需數(shù)值,流量計(jì)就會(huì)不工作了(就像樓主說(shuō)的情況)。 2、“在高壓下(1MPa)改變流量的設(shè)定值,比如設(shè)定為300,240,180,120mL/min等流量時(shí),反應(yīng)器出口流量沒(méi)變化,而常壓下還算有變化”,這種情況,主要是樓主有沒(méi)有調(diào)節(jié)好背壓閥的壓力,可能就是壓力沒(méi)調(diào)節(jié)好造成的。 個(gè)人認(rèn)為還是背壓閥沒(méi)調(diào)節(jié)好的問(wèn)題,希望能幫到樓主。 |

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