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macboro木蟲 (正式寫手)
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[求助]
批準號:51302122 . 碳納米管仿生連接器的制備與性能研究
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至尊木蟲 (職業(yè)作家)
| 開發(fā)基于新材料和新連接機制的納米連接器是當前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高性能、微型化發(fā)展的迫切需求。申請人前期研究發(fā)現(xiàn),仿壁虎腳結(jié)構(gòu)的鍺基納米線核殼結(jié)構(gòu)陣列能利用陣列相互穿透接觸形成的范德瓦爾斯力實現(xiàn)元件之間的物理連接、殼層金屬實現(xiàn)電氣連接,通過對材料及其結(jié)構(gòu)的進一步優(yōu)化有望滿足上述需求。本項目擬采用等離子增強化學氣相沉積技術(shù)在導(dǎo)電性勢壘層上生長仿壁虎腳的金屬性的多壁性碳納米管陣列,研究制備工藝對碳納米管性質(zhì)的影響,以及后續(xù)表面處理對碳納米管性質(zhì)及連接器力學、電學性質(zhì)和可靠性的影響,尋找合適的工作參數(shù),并探討連接器的作用機制,最終獲得具有選擇性、高黏附力、易插拔、可重復(fù)使用、機械強度高以及電學和熱學性能優(yōu)越等特點的納米連接器。本項目不僅對納米連接器的制備與工作機理有一定的基礎(chǔ)研究意義,而且對開發(fā)實用的高檔連接器、3D集成互連也有重要的參考意義。 |

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