 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 5 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 2734 | 回復(fù): 11 | |||
| 當(dāng)前只顯示滿足指定條件的回帖，點(diǎn)擊這里查看本話題的所有回帖 | |||
chemney新蟲 (初入文壇)
|
[求助]
SU8-2000.5電子束曝光邊緣粗糙，結(jié)構(gòu)之間有交聯(lián) 已有3人參與
|
||
|
實(shí)驗(yàn)室購買的是MicroChem公司SU8-2002光刻膠，用該公司提供的稀釋劑將光刻膠稀釋一倍，濃度與SU8-2000.5一致。 電子束曝光條件：電壓50kV，電流30pA Written field 300um/10000dot 轉(zhuǎn)速4000r 60s 前烘 65度1min，95度1min 顯影前 65度1min，95度1min 顯影60s，IPA清洗30s 具體曝光效果如下圖所示。 曝光圖形周期600nm, 柱子直徑300nm-450nm。 請(qǐng)問圖形邊緣參差不齊、還有就是柱子之間交聯(lián)的原因是什么呢？改進(jìn)工藝條件應(yīng)該從何處著手？ 1,8.Y160kX50.0kV.jpg 2,7.Y160kX50.0kV.jpg 3.Y160kX50.0kV.jpg |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
武漢高校國家級(jí)人才團(tuán)隊(duì)招收材料，化學(xué)，紡織等專業(yè)碩士調(diào)劑生
已經(jīng)有26人回復(fù)
-
紡大化工學(xué)院（官方群）-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高發(fā)展好-培養(yǎng)模式成熟
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
金屬材料論文潤色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有143人回復(fù)
-
溫州大學(xué)化材學(xué)院王娟課題組招生
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
學(xué)院官方群-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟已有10余名學(xué)生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢紡織大學(xué)化工學(xué)院官方群-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-10余名學(xué)生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
南昌航空大學(xué)蔣華麟教授課題組招收化學(xué)、環(huán)境、碳達(dá)峰碳中和及相關(guān)專業(yè)碩士信息
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
湖北師范大學(xué)復(fù)試調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢紡織大學(xué)_化工學(xué)院官方調(diào)劑群-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-每屆發(fā)展好
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
河北大學(xué)材料與化工專業(yè)研究生（專碩）招收調(diào)劑生
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
河北大學(xué)無機(jī)化學(xué)專業(yè)招收調(diào)劑生
已經(jīng)有0人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對(duì)您同樣有幫助:
- 如何旋涂400nm厚的光刻膠SU.8-2000.5
已經(jīng)有1人回復(fù)
- Phil S. Baran1997-2012年的文章匯總
已經(jīng)有140人回復(fù)
- Granular calcium carbide prodn. - by granulating fused
已經(jīng)有3人回復(fù)
xiaoyueriyue
金蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 6 (幼兒園)
- 金幣: 964.4
- 散金: 1051
- 紅花: 6
- 帖子: 381
- 在線: 128小時(shí)
- 蟲號(hào): 1966386
- 注冊(cè): 2012-08-31
- 性別: GG
- 專業(yè): 微/納機(jī)械系統(tǒng)
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
chemney: 金幣+20, ★有幫助 2015-01-24 13:29:39
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
chemney: 金幣+20, ★有幫助 2015-01-24 13:29:39
| 對(duì)SU8膠了解不多，但看SEM圖形，應(yīng)該是曝光和顯影時(shí)間控制的問題，柱子的邊緣不齊整和有膠交聯(lián)現(xiàn)象有可能是曝光時(shí)間或者強(qiáng)度過大的原因，使得膠在顯影過程中無法完全被去除，留下膠的殘余。建議降低曝光強(qiáng)度，另外，選擇性地延長一下顯影和清洗的時(shí)間試試。 |
4樓2015-01-24 08:17:57
exciting73 
金蟲 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 110 (高中生)
- 金幣: 579.9
- 紅花: 20
- 帖子: 1785
- 在線: 272.7小時(shí)
- 蟲號(hào): 1946276
- 注冊(cè): 2012-08-19
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
2樓2015-01-22 16:07:08
chemney
新蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 1125
- 帖子: 30
- 在線: 59.2小時(shí)
- 蟲號(hào): 806388
- 注冊(cè): 2009-07-09
- 專業(yè): 粒子物理與核物理實(shí)驗(yàn)方法
3樓2015-01-22 19:19:28
chemney
新蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 1125
- 帖子: 30
- 在線: 59.2小時(shí)
- 蟲號(hào): 806388
- 注冊(cè): 2009-07-09
- 專業(yè): 粒子物理與核物理實(shí)驗(yàn)方法
5樓2015-01-24 13:29:43
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 一志愿同濟(jì)大學(xué)323分（080500）求調(diào)劑 +6 | yikeniu 2026-04-01 | 6/300 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 化學(xué)308分調(diào)劑 +14 | 你好明天你好 2026-03-30 | 15/750 |
|
|
|
[考研] 085600 295分求調(diào)劑 +16 | W55j 2026-03-30 | 19/950 |
|
|
|
[考研] 材料調(diào)劑 +4 | 一樣YWY 2026-04-02 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 08工科求調(diào)劑290分 +5 | 1314捧花 2026-04-02 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 0856初試324分求調(diào)劑 +6 | 想上學(xué)求調(diào) 2026-04-01 | 6/300 |
|
|
[考研] 322求調(diào)劑 +5 | 熹僖XX 2026-03-31 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑推薦 材料 304 +21 | 荷包蛋hyj 2026-03-26 | 21/1050 |
|
|
|
[考研] 332求調(diào)劑 +8 | Lyy930824@ 2026-03-29 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 353求調(diào)劑 +4 | 拉鉤不許變 2026-04-01 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 285求調(diào)劑 +5 | FZAC123 2026-03-30 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 安徽大學(xué)專碩生物與醫(yī)藥專業(yè)(086000)324分，英語已過四六級(jí)，六級(jí)521，求調(diào)劑 +10 | 美味可樂雞翅 2026-03-26 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 一志愿武理材料工程302調(diào)劑環(huán)化或化工 +15 | Doleres 2026-03-31 | 16/800 |
|
|
|
[考研] 0856材料化工調(diào)劑 總分330 +18 | zhubinhao 2026-03-27 | 18/900 |
|
|
|
[考研] 本2一志愿C9-333分，材料科學(xué)與工程，求調(diào)劑 +9 | 升升不降 2026-03-31 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 085404 22408 315分 +5 | zhuangyan123 2026-03-31 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 一志愿大連理工大學(xué)，機(jī)械工程學(xué)碩，341 +3 | 西瓜田的守望者 2026-03-30 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 266分，求材料相關(guān)專業(yè)調(diào)劑 +10 | 哇呼哼呼哼 2026-03-30 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 一志愿中海洋320化學(xué)工程與技術(shù)學(xué)碩求調(diào)劑 +8 | 披星河 2026-03-30 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +7 | 青春裁為三截 2026-03-29 | 7/350 |
|