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zhengwei409銀蟲 (初入文壇)
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[求助]
SiO2增透膜基底選擇單晶硅或者載玻片 已有3人參與
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| 堿催化的SiO2增透膜，使用提拉法鍍膜時(shí)，在單晶硅片上鍍膜和載玻片上鍍膜的膜折射率和厚度有變化嗎，可以用單晶硅片代替載玻片測(cè)試薄膜折射率和厚度嗎？ |
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caoxiafei
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【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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區(qū)別大了，既然是增透膜，就要考慮膜系設(shè)計(jì)，目前這塊已經(jīng)很成熟了 硅的折射率為3.5 玻璃的折射率為1.5 SiO2薄膜雖說是可調(diào)，一般為與玻璃接近，1.5左右 SiO2薄膜對(duì)于Si是增透的，但對(duì)于玻璃效果不佳。 建議補(bǔ)充基礎(chǔ)知識(shí)：現(xiàn)代光學(xué)薄膜技術(shù)， |
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2015-01-26 19:34:34, 33.98 M
3樓2015-01-26 19:31:29
ivansdk
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2樓2015-01-26 11:29:55
zhengwei409
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4樓2015-01-26 20:20:59
caoxiafei
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材料的成分、結(jié)構(gòu)決定了材料的性能，在不同襯底上制備sio2畢竟還是有些差距，但不會(huì)太大，兩種襯底生長的sio2薄膜光學(xué)性能也是很接近的；硅片表面容易氧化，會(huì)使測(cè)試結(jié)果偏厚；玻璃上鍍膜。用光學(xué)法測(cè)試膜厚，準(zhǔn)確性較差 |
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5樓2015-01-26 21:56:21
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