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小海孩銀蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
有關(guān)氮化鋁薄膜的問(wèn)題 已有1人參與
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| 請(qǐng)問(wèn)下，現(xiàn)在關(guān)于磁控濺射制備AlN薄膜。為什么基本上用純鋁靶材與氮?dú)夥磻?yīng)在基底上生成薄膜，而不直接濺射氮化鋁靶材制備薄膜呢？ |
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 薄膜制備與特性 |
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Jason
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2樓2015-01-30 15:40:37
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