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小海孩銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
AlN薄膜
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請教各位大神，為什么通過磁控濺射方法使用AlN靶材制備AlN薄膜的時(shí)候，制備的薄膜中Al的含量占到了70%，而N的含量只有百分之十幾，請問下這是什么原因，并且有什么解決的辦法嗎？非常感激 OLLTUZ%E8SB4AN91N]8T[Z7.png |
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 薄膜制備與特性 |
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