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有蟲(chóng)友知道哪些廠家可以在Si基片上做AlN壓電薄膜的嗎？
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| 因?yàn)閷?shí)驗(yàn)室做的AlN壓電薄膜效果不好，就想直接買(mǎi)現(xiàn)成的Si/AlN襯底，或Si/SiO2/AlN襯底，就是不知道有哪些公司做，著急��！蟲(chóng)友們給介紹介紹啊！ |
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 薄膜制備與特性 |
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