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gaoxh121木蟲 (正式寫手)
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[求助]
如何用磁控濺射技術(shù)制備高紅外反射率的鎢薄膜和鉬薄膜？
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最近做磁控實(shí)驗(yàn)，在不銹鋼表面制備單層鎢或者單層鉬，看了很多文獻(xiàn)，利用直流濺射制備了高紅外反射率的單層鎢或者鉬薄膜！但自己用直流濺射制備時，得到的單層鎢或者鉬 的紅外反射譜圖與文獻(xiàn)報道有很大區(qū)別！實(shí)驗(yàn)參數(shù)如功率，濺射時間都做了調(diào)整，始終沒得到高紅外反射率的單層鎢或者鉬薄膜？不知道哪里出問題了，請前輩們指點(diǎn)，謝謝！ |
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2樓2015-03-24 22:39:02
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