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[求助]
請高手解答 Silvaco Atlas 三維器件模擬問題!
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我想模擬一個三維半導體器件的電學特性。 首先,我想在atlas模塊中,直接用語句建立結構,但是發(fā)現網格必須建立在器件內部,而atlas中的mesh語句只能定義長方體,所以我就放棄了這個方法。 然后,我想先在DevEdit3d模塊中畫出器件結構,并且存為.str文件,然后在atlas模塊中調用這個結構。我的語句是這樣的: go atlas init inf=XXX.str 但是它提示我“不能將3d的str文件導入2d的atlas中”,但是我記得atlas不是既能模擬二維器件也能模擬三維器件嗎? 請軟件高手賜教,如何解決這個問題,或者我應該用哪個模塊模擬? |
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