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luing993鐵蟲 (初入文壇)
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[交流]
【求助】如何去除拋光液殘留
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小弟是做電子元件的可靠性分析,進行樣品打磨已經4個月了,但是一直有一個問題存在。 我打磨樣品先是180目,接著600目---2400目---4000目。最后用0.3μ的氧化鋁拋光液拋光。經常會出現(xiàn)拋光液殘留在銅線上,很難去除。因為要做SEM,通常要放大到5000X,所以拋光液殘留是不太允許的。不知道哪位有經驗的能夠給點建議。先謝了 [ Last edited by SHY31 on 2008-7-11 at 22:18 ] |
鐵蟲 (初入文壇)
金蟲 (著名寫手)

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