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TiN膜不遵循化學(xué)計(jì)量比，文獻(xiàn)中提到氮分壓對(duì)其化學(xué)計(jì)量比沒(méi)有影響，什么意思呢?
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"thereby the nitrogen partial pressure during deposition does not have a large influence on the stoichiometry of the film" 上面是文獻(xiàn)在提及到的，對(duì)于TiN膜，遵循化學(xué)計(jì)量比與否，對(duì)其有什么影響呢？怎么理解上面這句話呢？菜鳥(niǎo)請(qǐng)教下 |
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2樓2015-04-16 21:02:15
3樓2015-04-18 23:58:31
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