 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 3 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 2428 | 回復(fù): 2 | ||
[求助]
SU-8 固化問(wèn)題
|
|
我想在su-8光刻膠上面再旋涂一層100nm左右的PMMA，實(shí)驗(yàn)中遇到了PMMA溶液溶掉了SU-8的表面部分 導(dǎo)致無(wú)法均勻旋涂的問(wèn)題，所以想請(qǐng)教各位高手幫忙。實(shí)驗(yàn)過(guò)程是這樣的： （1）襯底是亞克力板，然后在亞克力板上旋涂一層SU-8光刻膠，用的是Microchem的SU8-2100 加上SU-8稀釋劑（環(huán)戊酮）， 在65度2分鐘，90度半小時(shí)下加熱，然后曝光，再同樣溫度條件下再固化。 （2） 然后在SU8上再旋涂PMMA溶液（4% 996K 溶劑是Anisole），然后緩慢加熱到100度維持15分鐘。 結(jié)果就是PMMA溶液旋涂不均勻，不像在硅片上直接旋涂的PMMA那樣均勻透明。而且用鑷子刮幾下，明顯看到底層SU8也能被剝離掉。 所以還煩請(qǐng)各位高手指教下，多謝了！ |
回復(fù)此樓» 猜你喜歡
武漢高校國(guó)家級(jí)人才團(tuán)隊(duì)招收材料，化學(xué)，紡織等專業(yè)碩士調(diào)劑生
已經(jīng)有26人回復(fù)
-
紡大化工學(xué)院（官方群）-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高發(fā)展好-培養(yǎng)模式成熟
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
無(wú)機(jī)化學(xué)論文潤(rùn)色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有121人回復(fù)
-
溫州大學(xué)化材學(xué)院王娟課題組招生
已經(jīng)有5人回復(fù)
-
學(xué)院官方群-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-培養(yǎng)模式成熟已有10余名學(xué)生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢紡織大學(xué)化工學(xué)院官方群-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-10余名學(xué)生赴985海外深造
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
南昌航空大學(xué)蔣華麟教授課題組招收化學(xué)、環(huán)境、碳達(dá)峰碳中和及相關(guān)專業(yè)碩士信息
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
湖北師范大學(xué)復(fù)試調(diào)劑
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
武漢紡織大學(xué)_化工學(xué)院官方調(diào)劑群-院士團(tuán)隊(duì)招生-學(xué)生自由度高-每屆發(fā)展好
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
河北大學(xué)材料與化工專業(yè)研究生（專碩）招收調(diào)劑生
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
河北大學(xué)無(wú)機(jī)化學(xué)專業(yè)招收調(diào)劑生
已經(jīng)有0人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對(duì)您同樣有幫助:
- 類似于PDMS的柔性材料
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 激光干涉光刻應(yīng)該選取什么樣的光刻膠
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 請(qǐng)教橡膠脫模劑制作方法！
已經(jīng)有6人回復(fù)
- 請(qǐng)問(wèn)在微納加工領(lǐng)域的PDMS或者PMMA的用途有什么呢？
已經(jīng)有4人回復(fù)
- 微流控芯片 小通道做不好。
已經(jīng)有15人回復(fù)
- 石膏模脫模劑應(yīng)用
已經(jīng)有3人回復(fù)
- 關(guān)于一種光刻膠的替代
已經(jīng)有6人回復(fù)
- 求教各位，在強(qiáng)酸性條件下能否制備熱固性的酚醛樹(shù)脂？
已經(jīng)有12人回復(fù)
- 求問(wèn)如何設(shè)置旋涂濃度和轉(zhuǎn)速？？
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 求助海藻酸鈉除了溶于水之外還溶于什么溶液
已經(jīng)有6人回復(fù)
- 聚氨酯膠粒溶解時(shí)溶劑的選擇問(wèn)題
已經(jīng)有5人回復(fù)
- 環(huán)氧樹(shù)脂交聯(lián)固化后能否熔化？
已經(jīng)有8人回復(fù)
- 鋁上旋涂SU-8膠，粘附性不好，求助
已經(jīng)有4人回復(fù)
- 如何不用溶液反應(yīng)法降低材料表面能？
已經(jīng)有10人回復(fù)
- 如何在鋁表面涂聚四氟乙烯膜？
已經(jīng)有14人回復(fù)
- 請(qǐng)教 光刻膠PMMA 的使用
已經(jīng)有7人回復(fù)
- 【求助】有做微流控芯片的嗎？請(qǐng)進(jìn)！
已經(jīng)有13人回復(fù)
2樓2016-02-29 08:54:53
648582818
版主 (著名寫手)
- 應(yīng)助: 104 (高中生)
- 貴賓: 0.478
- 金幣: 31828.5
- 散金: 358
- 紅花: 42
- 沙發(fā): 28
- 帖子: 2431
- 在線: 2822.6小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 934162
- 注冊(cè): 2009-12-27
- 性別: GG
- 專業(yè): 應(yīng)用高分子化學(xué)與物理
- 管轄: 留學(xué)DIY
3樓2016-12-19 23:53:09
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 zzulyy 的主題更新
| 3 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 材料考研調(diào)劑 +9 | Gs大王 2026-04-02 | 9/450 |
|
|---|---|---|---|---|
|
[考研]
 重慶大學(xué)材料與化工085600，初試370+，求求調(diào)劑建議
+5
|
shzhou_ 2026-04-01 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 270調(diào)劑 +7 | maxjxbsk 2026-04-02 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 各位老師好，我的一志愿為北京科技大學(xué)085601材料專碩 +13 | Koxui 2026-03-28 | 13/650 |
|
|
|
[考研] 348環(huán)境工程調(diào)劑 +3 | 吳彥祖24k 2026-04-01 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 085600，321分求調(diào)劑 +13 | 大饞小子 2026-03-31 | 13/650 |
|
|
|
[考研] 材料與化工調(diào)劑一志愿大連海事085600，349 +9 | 吃的不少 2026-03-30 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 085600材料與化工調(diào)劑 +16 | kikiki7 2026-03-30 | 16/800 |
|
|
|
[考研] 一志愿華中師范化學(xué)332分求調(diào)劑 +3 | Lyy930824@ 2026-03-29 | 3/150 |
|
|
|
[有機(jī)交流] 考研調(diào)劑 +8 | watb 2026-03-26 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 317分 一志愿南理工材料工程 本科湖工大 求調(diào)劑 +12 | 芋泥小鈴鐺 2026-03-28 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 071010 323 分求調(diào)劑 +3 | Baekzhy 2026-03-27 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 求調(diào)劑 +7 | 青春裁為三截 2026-03-29 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 305求調(diào)劑 +8 | RuiFairyrui 2026-03-28 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 304求調(diào)劑 +6 | 曼殊2266 2026-03-27 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 330一志愿中國(guó)海洋大學(xué) 化學(xué)工程 085602 有讀博意愿 求調(diào)劑 +3 | wywy.. 2026-03-27 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 一志愿上海理工能源動(dòng)力（085800）310分求調(diào)劑 +3 | zhangmingc 2026-03-27 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 266求調(diào)劑 +11 | 陽(yáng)陽(yáng)哇塞 2026-03-27 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 292求調(diào)劑 +4 | 求求了收下我吧?/a> 2026-03-26 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 調(diào)劑求收留 +7 | 果然有我 2026-03-26 | 7/350 |
|