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厚德載物之道銀蟲 (初入文壇)
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[交流]
硅襯底的多晶硅背封工藝
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| 用LPCVD設(shè)備，在硅片上沉積一層多晶硅薄膜，可能由于清洗不干凈或其他問題，膜上出現(xiàn)顆粒沾污、蹭傷能進(jìn)行返工嗎？有好的方法嗎？因?yàn)檎Ｆ髽I(yè)生產(chǎn)，如果不能返工損失會(huì)很大，請(qǐng)有經(jīng)驗(yàn)的專業(yè)人士給些建議。 |
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2樓2015-04-20 11:21:45
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