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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 光刻勻膠
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光刻勻膠 已有5人參與
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光刻膠勻膠一直不夠均勻怎么解，轉(zhuǎn)速從3000到6000，時間從30S到100S，這些基本全試了，濕度低于40%，溫度室溫。一直不夠均勻，為數(shù)不多的幾次均勻里也是出現(xiàn)細密的條紋，覆蓋整個硅片。會是什么原因呢。謝謝 IMG_20150506_093717.jpg |
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zipperzinc
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4樓2015-05-19 13:54:28
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5樓2015-05-19 21:58:35
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