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藍(lán)胖胖魔法師銀蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
旋涂時(shí)如何控設(shè)定溶液濃度，轉(zhuǎn)速，時(shí)間來(lái)控制膜厚？ 已有1人參與
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| 本小蟲(chóng)初進(jìn)實(shí)驗(yàn)室，現(xiàn)在在做鈣鈦礦的LED。在旋涂過(guò)程中對(duì)于獲取特定厚度的膜，有很多因素（濃度、轉(zhuǎn)速、時(shí)間）影響。但是缺乏經(jīng)驗(yàn)。想請(qǐng)教各位大神們，有什么好的建議呢？比如我該如何甩一層50nm的膜。（最好有相關(guān)文獻(xiàn)資料），感激不盡�。�！ |
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peterflyer 
木蟲(chóng)之王 (文學(xué)泰斗)
peterflyer
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
藍(lán)胖胖魔法師: 金幣+5, ★有幫助 2015-05-10 10:39:20
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藍(lán)胖胖魔法師: 金幣+5, ★有幫助 2015-05-10 10:39:20
| 建議樓主借助于4因素三水平表格做一個(gè)3因素3水平的正交試驗(yàn)來(lái)解決這個(gè)問(wèn)題。因素有濃度、轉(zhuǎn)速、時(shí)間，每個(gè)因素的水平可根據(jù)實(shí)驗(yàn)經(jīng)驗(yàn)先大致選取，然后通過(guò)實(shí)驗(yàn)結(jié)果和數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)分析得到優(yōu)化。 |
2樓2015-05-08 20:14:23
baberhebroll
新蟲(chóng) (小有名氣)
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3樓2015-05-13 12:48:00
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