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bill1989914銀蟲 (初入文壇)
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[求助]
E-Beam 蒸鍍金時候，表面形成直徑2~20um的大顆粒，什么原因？ 已有3人參與
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求助,Ti/Au 40nm/110nm ,E-beam 在quartz上。要做lift-off。結果表面形成直徑2~20微米不等的圓形的顆粒，隨機分布在我的金表面上。 有意思的現(xiàn)象是，這些顆粒在有光刻膠的部分出現(xiàn)的概率小，尺寸也��；在顯影后的石英部分出現(xiàn)的概率大，尺寸也大。 之前的加工從來沒有出過這樣的問題。 而且也能夠排除晶片不潔凈的可能。 我的蒸鍍速率都為 5A/s ，以前設個速率很正常的。 PS： 后來我進一步減少了速率到2A/s，該現(xiàn)象基本消失，但是出現(xiàn)了粘附性十分差的情況。用膠帶一粘，金屬層就脫落了。 請大家?guī)蛶兔Π。?br /> 上傳圖片 dust3.jpg dust1.jpg |
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