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Sunmengwei金蟲 (小有名氣)
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[求助]
請問固化后的PDMS有什么好的方法去除的嗎？ 已有1人參與
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| 請問各位大神，在刻有納米結構的Si片上殘留了PDMS，請問有什么好的方法去除而不影響Si模板嗎？ |
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weiyongscut
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【答案】應助回帖
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感謝參與，應助指數(shù) +1
Sunmengwei: 金幣+10, ★有幫助, 謝謝樓主，可是文章中說要用四丁基氟化銨做溶質(zhì)，會不會把我的Si也溶了呢？ 2015-05-19 10:32:23
Sunmengwei: 金幣+40, ★★★★★最佳答案, 謝謝，我試了下，效果還不錯 2015-05-20 21:40:58
感謝參與，應助指數(shù) +1
Sunmengwei: 金幣+10, ★有幫助, 謝謝樓主，可是文章中說要用四丁基氟化銨做溶質(zhì)，會不會把我的Si也溶了呢？ 2015-05-19 10:32:23
Sunmengwei: 金幣+40, ★★★★★最佳答案, 謝謝，我試了下，效果還不錯 2015-05-20 21:40:58
| 可以看一下這篇文章，前幾天剛看到的，Ravinder Dahiya, Gloria Gottardi, Nadhira Laidani. PDMS residues-free micro/macrostructures on flexible substrates. Microelectronic Engineering, 2015, Article in Press. |
天堂陌路人
2樓2015-05-18 21:45:46
Sunmengwei
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7樓2017-06-01 11:50:28
biolqs7
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8樓2017-12-01 23:32:14
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9樓2017-12-02 01:16:23
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