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FSCaptain銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
關(guān)于薄膜晶體材料應(yīng)力的分析
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最近在研究氮化物薄膜材料應(yīng)力產(chǎn)生以及對于材料性質(zhì)的影響,想要表征一下在薄膜表面的應(yīng)力場的分布情況,就是想看看哪些區(qū)域是受壓應(yīng)力哪些區(qū)域是受張應(yīng)力,最好能表征出應(yīng)力場來,想問問各位蟲友有沒有什么辦法可以達到以上目的呢? 用曲率來推算應(yīng)力情況是宏觀應(yīng)力值吧,想看看在薄膜表面這一平面內(nèi),應(yīng)力是怎么分部的,尤其是想看看壓應(yīng)力與張應(yīng)力是否分布在同一平面內(nèi)的不同區(qū)域里~~先行謝過啦! |
薄膜制備與特性 |

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