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有蟲(chóng)友知道哪里有直流磁控濺射，功率可以達(dá)到600 W左右的嗎？

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1樓 2015-05-21 10:47:27

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我們實(shí)驗(yàn)室的磁控濺射一般都用兩位數(shù)的功率，但是我覺(jué)得調(diào)到幾百瓦應(yīng)該是沒(méi)問(wèn)題的，所以我覺(jué)得正常磁控濺射應(yīng)該是可以調(diào)到這個(gè)參數(shù)的

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不要做讓自己看不起的事情

2樓2015-05-21 11:29:00

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2樓: Originally posted by 1142211017 at 2015-05-21 11:29:00
我們實(shí)驗(yàn)室的磁控濺射一般都用兩位數(shù)的功率，但是我覺(jué)得調(diào)到幾百瓦應(yīng)該是沒(méi)問(wèn)題的，所以我覺(jué)得正常磁控濺射應(yīng)該是可以調(diào)到這個(gè)參數(shù)的

可不可以幫我問(wèn)一下你們實(shí)驗(yàn)室有經(jīng)驗(yàn)的人能調(diào)到那么高嗎?拜托

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3樓2015-05-21 17:27:51

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babyoflion

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我們實(shí)驗(yàn)室就可以啊你要濺射什么東西》

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4樓2015-05-22 12:27:32

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liailong

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不清楚為什么肥得用600W，磁控濺射是一種視儀器而定的儀器，人家用500W，你的設(shè)備有可能用100W就可以實(shí)現(xiàn)。

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5樓2015-05-22 19:30:33

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安平勒

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應(yīng)該跟儀器的參數(shù)有關(guān)吧，正常濺射電流應(yīng)該適當(dāng)時(shí)都處在異常輝光放電區(qū)域。如果電流一味增大，處在電弧放電區(qū)將對(duì)靶，膜層有損

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6樓2015-05-22 20:03:28

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4樓: Originally posted by babyoflion at 2015-05-22 12:27:32
我們實(shí)驗(yàn)室就可以啊你要濺射什么東西》

銅，請(qǐng)問(wèn)是哪個(gè)實(shí)驗(yàn)室呢？

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7樓2015-05-23 10:43:18

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5樓: Originally posted by liailong at 2015-05-22 19:30:33
不清楚為什么肥得用600W，磁控濺射是一種視儀器而定的儀器，人家用500W，你的設(shè)備有可能用100W就可以實(shí)現(xiàn)。

？

8樓2015-05-25 10:19:18

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功率大小與靶材尺寸有關(guān)，靶越大，放電面積越大，功率才能加上去。

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9樓2015-05-25 18:29:16

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9樓: Originally posted by Friend007 at 2015-05-25 18:29:16
功率大小與靶材尺寸有關(guān)，靶越大，放電面積越大，功率才能加上去。
...

呃，靶材尺寸都是固定的，功率跟電源有關(guān)

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10樓2015-05-25 22:01:14

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