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[求助]
關(guān)于GISG薄膜ZnO/AZO層的制備 已有2人參與
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| 大家好，我讀研是做這個電池的，結(jié)果找文獻(xiàn)，發(fā)現(xiàn)就吸收層的制備工藝，完全找不到ZnO/AZO層是怎么做的，就知道用磁控做，但是，參數(shù)什么的完全目頭緒，大家是怎么做的啊，望指導(dǎo)一下，謝謝了 |
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欽點(diǎn)木瓜
金蟲 (著名寫手)
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3樓2015-05-28 11:55:36
wanghuaxing 
禁蟲 (小有名氣)
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本帖內(nèi)容被屏蔽 |
2樓2015-05-27 21:50:26
4樓2015-05-28 13:37:00
caoxiafei
專家顧問 (著名寫手)
研發(fā)工程師-Topcon/HJT電池
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專家經(jīng)驗(yàn): +112 - 應(yīng)助: 184 (高中生)
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- 管轄: 功能材料
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★
hanohalo: 金幣+5, ★★★★★最佳答案, 謝謝你了，很有幫助，第一次接觸這個 2015-05-31 20:53:53
hanohalo: 金幣+5, ★★★★★最佳答案, 謝謝你了，很有幫助，第一次接觸這個 2015-05-31 20:53:53
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ZnO靶材，RF-sputter，ZnO薄膜，50nm，薄膜方阻>80Ω，濺射氣氛：氬氣+氧氣，氧氣流量是氬氣流量的10分之一，具體可調(diào)；電阻很大就好，氣壓1~10*10^-3 torr AZO靶材，DC-sputter，AZO薄膜, 250~900nm，薄膜方阻<50Ω，濺射氣氛：氬氣，氣壓1~10*10^-3 torr之間 沒有這方面的文章，是因?yàn)檫@個太簡單了，沒有創(chuàng)新點(diǎn)，不適合發(fā)文章單獨(dú)介紹了 |
5樓2015-05-30 16:41:18
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