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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料工程 » 設備設計與開發(fā) » 磁控濺射儀
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[求助]
磁控濺射儀 已有1人參與
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| 請問各位大神磁控濺射儀器上的“薄膜規(guī)真空度”“濺射室真空度“前級真空度”指的各是什么真空度，那工作氣壓應該看哪個真空度，從儀器上是否可以直接看出，謝謝。 |
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2樓2015-06-10 16:45:09
shenghuosh
鐵蟲 (初入文壇)
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- 金幣: 50
- 紅花: 1
- 帖子: 11
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- 蟲號: 843389
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- 專業(yè): 金屬材料表面科學與工程
3樓2015-06-12 22:34:46
4樓2015-06-14 08:40:15
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