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[交流]
有沒有研究硅基納米線(柱)的
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單晶硅上做出納米柱體,有沒有研究這個(gè)方向的大家討論一下,先說說我打算怎么做的,首先,硅片洗凈后進(jìn)行管式爐熱氧化,二氧化硅的厚度大概是200nm左右,然后光刻,光刻完進(jìn)行腐蝕去膠體,將二氧化硅掩膜復(fù)制到硅片上,然后進(jìn)行化學(xué)刻蝕,配置一定濃度的HF和雙氧水,將樣品放入,進(jìn)行水浴50°加熱2h,有經(jīng)驗(yàn)的學(xué)長或者前輩給指導(dǎo)一下,這種方案可行嗎?有哪些不足的地方,都是為了科研,希望大家不要吝嗇,我的金幣有限只能給這么多,希望大家能不是為了金幣而回帖。 祝好! |
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