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[交流]
叉指電極參數(shù)選擇
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| 制作傳感器的時候，通常會用到叉指電極。此時就應(yīng)該考慮叉指電極的參數(shù)對器件性能的影響。參數(shù)有：指間距（指間距越小，信噪比越高，信號幅越大）；電極厚度（電極厚度越小，產(chǎn)生的電場越大）；電極長寬比（長寬比越大，叉指電極密度越大，初始電阻減小，靈敏度和響應(yīng)速度提高）。主要就是以上3個參數(shù)，除此之外還有電極對數(shù)，電極對數(shù)對信噪比沒有影響。那么問題來了，如果指間距3-6um，指寬10um，20um，則電極厚度選擇多厚的？還望有經(jīng)驗(yàn)的前輩不吝賜教，這方面的文章推薦幾篇經(jīng)典的讓我學(xué)習(xí)一下？ |
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2樓2017-09-13 17:08:52
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