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eileenjj銅蟲 (小有名氣)
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[求助]
請教關于微電子工藝中離子注入方面的問題，各位有經(jīng)驗的前輩幫幫忙~~~ 已有1人參與
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請問各位做微電子工藝的大神，在進行離子注入的時候，一般可以實現(xiàn)注入哪些元素？ 另外，可以采用哪些掩膜材料作為保護層，例如Si3N4之類的。 謝謝大家�。�！  |
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2樓2015-11-06 16:32:09
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3樓2015-11-06 16:42:38
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