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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » ICP刻蝕硅，光刻膠熔化
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[求助]
ICP刻蝕硅，光刻膠熔化 已有2人參與
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圖片見附件，光刻膠是PRI-12000,15um厚，ICP采用bosch工藝，刻蝕10s/鈍化8s，90個Loop，肉眼可見表面光刻膠熔了。 做ICP比較多的，有沒有遇到過這種情況，是機器的原因還是光刻膠的原因？ 謝謝！ IMG_20150729_111428.jpg |
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ju5200
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5樓2016-08-28 00:58:28
pptang
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3樓2015-08-24 14:17:38
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4樓2016-08-15 14:39:40
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