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HSQ負膠旋凃時,出現(xiàn)圍繞中心的同心圓環(huán),不知道是什么原因 已有1人參與
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請問大牛,我在做BEL,旋涂HSQ光刻膠時,會出現(xiàn)圍繞旋轉中心的同心圓環(huán)狀圖案,這主要哪方面出問題造成的? 還有,光刻膠的甩膠溫度是選擇剛從冰箱里拿出來直接甩膠還是等光刻膠(HSQ)的溫度恢復到室溫時再旋涂? 求大牛們的意見。 PS:上傳的圖片中小片是我做的。 WP_20150727_003.jpg |



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