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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 微米和納米 » 微納加工 » 氮化硅掩膜脫落問題
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wdzwyj木蟲 (小有名氣)
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[交流]
氮化硅掩膜脫落問題
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各位蟲友好: 小蟲最近做HF刻蝕多孔硅實驗。使用氮化硅做掩膜，容易脫落的問題。氮化硅是采用PECVD方法生長，500℃退火所得。 將片子放置在刻蝕槽中，一分鐘左右，氮化硅薄膜就開始脫落。有沒有方法能避免掩膜脫落？謝謝！  |
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juekong
鐵桿木蟲 (著名寫手)
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3樓2015-09-15 06:01:46
likanghit2004
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4樓2015-09-15 08:15:52
5樓2016-01-04 17:48:08
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6樓2016-01-05 11:18:20
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