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FLYFWY木蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射基片溫度測定與控制 已有4人參與
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用磁控濺射在石英或者SiC基片上鍍金屬厚膜,想盡可能地把膜鍍厚,但鍍厚了 經(jīng)常膜裂或者卷曲,懷疑是鍍膜時間太久(7h以上),熱應力太大的原因。 所以想咨詢一下 1.基片溫度測定與控制一般都有什么方法? 2.樣品臺水冷的方法試過了,膜一鍍上去就要起皺(基片溫度太低的原因?) 3.紅外測溫度話在這么低的溫度范圍內(nèi)不知靠不靠譜? 謝謝! |
薄膜制備與特性 | 薄膜材料和器件制備 |
木蟲 (小有名氣)
木蟲 (小有名氣)
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