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[求助]
BCB鍵合鈮酸鋰
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請(qǐng)問有沒有蟲友做用BCB鍵合鈮酸鋰的工藝呀？ 我們發(fā)現(xiàn)鈮酸鋰跟BCB的熱膨脹系數(shù)相差太大，隨著鍵合完退火溫度的降低，鈮酸鋰就碎掉了，請(qǐng)問大家有什么好的方法或者設(shè)備解決這一問題呀？ 請(qǐng)大家多多提提意見，同時(shí)在微納加工方面有你們不懂的也可以一起交流學(xué)習(xí)，共同進(jìn)步。  |
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maoyaya123
新蟲 (初入文壇)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體微納機(jī)電器件與系統(tǒng)
2樓2017-10-30 14:39:11
3樓2017-11-03 16:41:00
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4樓2019-03-14 18:28:13
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5樓2019-12-11 18:21:58
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