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melonetern新蟲 (初入文壇)
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硅片與鋁片的銜接Bonding 已有1人參與
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為了測(cè)試能讓自由電子通透的薄膜的真空隔離性（電子能通過(guò)，但是薄膜及硅片經(jīng)過(guò)處理后有個(gè)真空小空間）。需要進(jìn)行薄膜真空性能測(cè)試。 問(wèn)題的重點(diǎn)是真空測(cè)試如何構(gòu)架。 我們的方案是將硅片和鋁輪緣連接，再將輪緣與真空儀器連接。 所以進(jìn)一步的問(wèn)題是，如何將鋁塊（上面有洞）與硅片結(jié)合并且秘不透風(fēng)。 鋁輪緣上濺射銅已經(jīng)搞定，硅片上先濺射50nm Cr或者Ti,再濺射1um Cu,都試過(guò)了，可是用膠帶測(cè)試黏附型都失敗了。是我操作有問(wèn)題嗎，還是想法本身有問(wèn)題。 PS: 以上步驟成功后，將各自濺射銅的硅片和鋁輪緣用薄焊片焊接起來(lái)形成真空。 我的主要問(wèn)題是如何在硅片上成功濺射銅，黏附性一定要好。 望各位前輩指教。 Lecksuch.png |
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 薄膜制備與特性 |
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4樓2015-08-25 19:36:43
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3樓2015-08-21 09:02:38
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5樓2015-08-26 18:44:55
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