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shl0920木蟲 (正式寫手)
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[求助]
磁控濺射制備薄膜 已有2人參與
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各位蟲友,我最近在做磁控濺射制備CeO2膜的時候選用不銹鋼基底,不知道基底不銹鋼是不是也會被濺射出來一部分污染我需要得到的CeO2膜啊?不知道有沒有相關(guān)的文獻說明基底也被濺射破壞的問題?懇請各位蟲友幫忙,不勝感謝! |
木蟲 (正式寫手)
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