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[求助]
用SEM測量高分子薄膜的問題 已有6人參與
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新人第一次提問,只有9個金幣全拿出來求助! 我的樣品是在玻璃片上,用旋涂法凃的P3HT薄膜,溶劑選的氯仿,濃度從0.125mg/ml到1mg/ml不等,目標是想做厚度在5-10nm的薄膜,F(xiàn)在打算用SEM掃截面來確定厚度,儀器型號是日立S-4800,請問儀器的分辨率可以達到要求嗎?測量的時候有什么需要注意的?我之前測得時候是用玻璃刀直接切開掃,截面不是很平整這樣有影響嗎? |
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一點點建議,切的時候切背面,就是沒有薄膜的那一面。如果粘附性好直接從背面敲碎這樣可能截面會好一些。薄膜確實很薄,如果能旋涂到拋光硅片上截面成像會更好 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |

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