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漫步云端008新蟲 (初入文壇)
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[求助]
求助有懂磁控濺射中如何使用PEM控制器（speedflo）的嗎？
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| 本人研究磁控濺射制備鈦氧薄膜的課題，實驗中為了準(zhǔn)確控制薄膜的性能需要用英國真科公司的speedflo來控制反應(yīng)氣體。磁控濺射使用的是鈦靶，氧氣和氬氣，speedflo控制的是氧氣量，另外有鈦和氧的濾光片。有熟悉speedflo的使用的嗎？求教！ |
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2樓2015-09-22 09:44:20
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