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請教一下關(guān)于外延生長的概念問題。
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和各位請教一個問題： 一般而言，按照襯底和薄膜錯配度的差別，可以將薄膜分為同質(zhì)外延和異質(zhì)外延兩類生長過程。生長方式有臺階生長和2維晶核等幾種方式。 按照定義，外延生長應(yīng)該是襯底與薄膜整體上保持一致或相近的晶體取向。 那么，當(dāng)薄膜和襯底的錯配度相差很大（>10%）時，薄膜生長后與襯底間并沒有形成明顯的取向關(guān)系，氣-固界面的形核-生長行為還能否稱為“外延生長”呢？是否有相關(guān)的術(shù)語來定義這個過程嗎？ 還是應(yīng)該稱為“沉積”過程更合適？ 是否有詳細(xì)解釋“外延形核”和“沉積形核“生長過程區(qū)別的相關(guān)書籍，可以推薦一下嗎？ 先謝謝各位！  |
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