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lzg919530615金蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[求助]
KrF激光器氣體的排放問(wèn)題？
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| 最近實(shí)驗(yàn)室要買(mǎi)一臺(tái)PLD設(shè)備，帶有KrF氣體激光器，查了資料發(fā)現(xiàn)KrF是有毒氣體，請(qǐng)問(wèn)下應(yīng)該怎么處理呢？KrF激光器工作過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生并需要排放KrF/F2氣體嗎，KrF氣體會(huì)在使用過(guò)程中有損耗嗎？謝謝！ |
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wiseroy
木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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2樓2016-04-18 21:48:26
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