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鐵蛋白作催化劑PECVD法生長單壁碳管 已有1人參與
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最近一直在用鐵蛋白作催化劑PECVD高溫生長，氣體是甲烷、氫氣和氬氣，大概流程如下： 1、對硅片上二氧化硅進行親水處理 2、硅片浸泡在鐵蛋白溶液中 3、高溫生長（750），等離子體150W，氣體流量大概是甲烷15，氬氣5 發(fā)現(xiàn)生長出來的碳管（估計都不是單壁的）很亂，分布很不均勻，不像文獻中一樣長直。。 求助各位前輩大神該如何改進。。 |
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2樓2015-09-23 16:20:48
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