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在用FIB加工電極時出現(xiàn)了奇怪的刮痕，不知是怎么產(chǎn)生 已有1人參與
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本來是想用FIB在金膜上刻一條gap,卻在SEM下發(fā)現(xiàn)一條卷起的劃痕，如圖一。卷起的條狀就是被鏟起來的金。圖二是那個卷狀的末端，可以看到被某種東西刮完之后還彈了兩下，留下點狀的凹痕。圖三可以清楚地看到這條劃痕大約100nm，頂端大約300nm，感覺是被某種橫截面是梯形的東西所刮。 不會是FIB的離子束刻得，因為離子束不會產(chǎn)生這種卷狀物，而且離子束刻出的劃痕邊緣比較粗糙，而這種刮痕的邊緣非常齊整。我試了一些尖銳的東西來刮，但都不能產(chǎn)生100nm這么窄的gap。 此基片在熱蒸鍍Au膜前后，除了鑷子并未接觸過什么尖銳物體，但鑷子的尖端顯然在mm量級。 我想請問下大家這種刮痕有可能是什么產(chǎn)生的？ 1.jpg 2.jpg 3.jpg |
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