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怎么使Si基片與金屬氧化物結(jié)合緊密？
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| Si基片上有一層自然氧化的SiO2膜，我們想在Si基片上涂覆上一層金屬氧化物，但是顯而易見，旋涂法的能力有限，并不能夠?qū)崿F(xiàn)精密的結(jié)合。 |
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2樓2015-09-28 09:31:53
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