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斐索干涉儀求助 已有2人參與
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我最近參考《基于斐索干涉儀的數(shù)字波面干涉技術(shù)研究》這篇論文，想模仿論文里面的內(nèi)容達(dá)到論文的效果，來檢測表面的平面度。 論文鏈接在此：http://www.doc88.com/p-49035199052.html 長話短說吧，原理圖在此 實(shí)驗(yàn)原理很簡單，就是激光（我這里用He-Ne激光器）擴(kuò)束準(zhǔn)直后，經(jīng)過標(biāo)準(zhǔn)件平面平晶后，到達(dá)待測表面。從平晶下表面（標(biāo)準(zhǔn)平面）反射的光與被測表面反射的光會(huì)發(fā)生干涉，從而會(huì)得到干涉條紋。 現(xiàn)在我得到的條紋是這樣的，圖中條紋間距較粗的等傾干涉條紋是我想要的條紋，但是可以看到圖像質(zhì)量很差。 現(xiàn)在的問題是實(shí)驗(yàn)中出現(xiàn)的干涉種類比較多，平晶和被測物體一共有四個(gè)面，它們四個(gè)面都有可能發(fā)生干涉 （1）平晶兩面發(fā)生干涉 圖中密密麻麻的斜紋就是平晶兩個(gè)面干涉的條紋，此干涉對(duì)于圖像質(zhì)量影響很大。我認(rèn)為是平晶兩個(gè)面的楔角較小，激光擴(kuò)束準(zhǔn)之后兩光斑會(huì)發(fā)生重合，從而發(fā)生干涉。但是論文中并未提及平面平晶的兩個(gè)面之間楔角的參數(shù)，而我在市面上搜平面平晶，也未對(duì)楔角進(jìn)行說明。這是我現(xiàn)在很疑惑的地方。 13123.PNG （2）被測物體兩個(gè)面發(fā)生干涉 由于我選用的被測物體可能兩個(gè)面平行度較好，此干涉條紋條紋間距很大，圖中看起來并不明顯。論文中是利用給被測物體底部涂油的方法來減少影響的。減少這種干涉應(yīng)該問題不大。 其他問題說明: （1）圖中紅色圈標(biāo)注的環(huán)狀條紋為透鏡上灰塵發(fā)生衍射的圖樣，此影響因素較好消除。 45634.PNG （2）仔細(xì)看，發(fā)現(xiàn)干涉圖中心也有類似（1）的圓環(huán)，但是圓心為干涉圖中心，這種現(xiàn)象也是灰塵引發(fā)的衍射嗎？還是激光擴(kuò)束準(zhǔn)直的問題？我擴(kuò)束準(zhǔn)直用的是最簡單的方案，f=4.5mm、f=225mm凸透鏡進(jìn)行組合，得到光斑直徑大約為35mm的光斑。 各位蟲友大神求助啊~！小弟渣渣一個(gè)，求各位大神指指路！�。。。。。� |
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