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kevin123581金蟲 (正式寫手)
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[求助]
PLD制備ZnO/ITO薄膜的問題 已有1人參與
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剛接觸這個課題，想請教下關(guān)于PLD制備這類薄膜的條件問題。 ZnO：我自己試過幾次，條件都是10-5Torr真空度+室溫溫度的基底，結(jié)果薄膜不是白色透明的，而是黑色；等離子體羽輝帶藍紫色，不是特別明顯； 網(wǎng)上看過一些文獻，貌似都說需要在高O2濃度的氣體環(huán)境中而不是真空。其次基底溫度也有要求，400-800攝氏度什么的。 ITO：一樣的10-5Torr真空度+室溫溫度的基底，薄膜也是黑色的，不過看上去貌似是高反射的。而且等離子體羽輝肉眼基本看不出來，難道是黑色的？ 所以在此想請教下，對于ZnO或者ITO，一般的PLD 制備條件如何？ 有什么特殊要求么？ 謝謝 |
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5樓2015-10-02 12:22:14
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6樓2015-10-02 12:27:55
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10樓2016-03-20 20:19:23
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