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半山菊花新蟲 (初入文壇)
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[求助]
離子注入時怎樣根據(jù)摻雜濃度來計算相關(guān)劑量和能量 已有1人參與
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| 最近需要進(jìn)行離子注入，P型摻雜(Be)，濃度約為2×10的19次方，每立方厘米。是注入要銦鎵砷磷材料中。我用SRIM模擬了一下，但結(jié)果似乎并不可靠。希望有懂的前輩指點(diǎn)一二，十分感謝。 |
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3樓2020-03-22 12:51:10
2樓2015-10-30 10:24:45
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