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lm31415木蟲 (小有名氣)
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[求助]
硅片表面磁控濺射納米金屬膜，硅片表面的處理辦法 已有5人參與
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| 各位，最近小弟要做磁控濺射，在硅片表面磁控濺射納米金屬膜。 淘寶上買回來的成品是直徑4英寸的硅片，電鏡SEM科研實驗專用的這種硅片。我們最后需要的是5*5mm大小的小硅片，買之前讓賣家激光切割好寄來，請問怎樣對這種小硅片表面清洗，要鍍納米金屬膜的話，怎么一次做多點，畢竟5*5mm的做太繁瑣 |
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2樓2015-10-12 21:10:09
liwentao_316
木蟲 (小有名氣)
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lm31415: 金幣+5, ★★★很有幫助 2015-10-13 11:37:46
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只能先切割成小塊，然后濺射，用丙酮洗一次超聲波清洗3分，再用酒精超聲波清洗3分鐘，再用丙酮超聲波清洗3分鐘，然后放到濺射托盤里開始濺射 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
3樓2015-10-12 23:14:30
4樓2015-10-12 23:26:59
小河不拉貨
金蟲 (正式寫手)
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【答案】應(yīng)助回帖
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lm31415: 金幣+5, ★★★很有幫助 2015-10-13 11:38:59
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lm31415: 金幣+5, ★★★很有幫助 2015-10-13 11:38:59
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表述有點亂。清洗硅片一般就是超聲清洗，先后是丙酮和酒精超聲。也有先后用丙酮酒精和去離子水。如果想去除硅片表面氧化層，最后還可以加一步低濃度HF溶液超聲清洗，，濃度要低。 發(fā)自小木蟲Android客戶端 |
5樓2015-10-13 08:25:56
wanghuaxing 
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6樓2015-10-15 21:08:27
lm31415
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7樓2015-10-15 21:27:46
wanghuaxing
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8樓2015-10-19 21:51:37
13613627346 
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10樓2015-11-17 22:14:51
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