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各位大蟲子,如何得到硅納米陣列 已有1人參與
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本人打算在Cu襯底上濺射Si薄膜, 想做成Si的納米陣列,直徑大概100nm左右,用濕刻的話,直接Cu襯底就被腐蝕沒了,干刻卻沒辦法弄到nm級別的陣列 這可如何是好? AAO模板的話該怎么做呢? 還有其他的好辦法沒? ![]() ![]() |
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