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tracyyanvon新蟲 (小有名氣)
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[求助]
求助！各位大神，合金靶直流磁控濺射鍍的膜元素成分比例的一些疑問
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| 本人用合金靶材做直流磁控濺射鍍膜，合金靶材是Ce-Gd,摩爾比為8:2，濺射氣體是Ar和O2，但是給鍍出的膜測XRD，在PDF卡片找不到所對應的衍射峰，然后又做了個元素成分分析，發(fā)現(xiàn)元素成分比例也和靶材的比例不一樣，有哪位大神可否幫幫忙解答下小弟？非常感謝,！ |
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2樓2015-10-24 09:38:37
tracyyanvon
新蟲 (小有名氣)
- 應助: 1 (幼兒園)
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- 紅花: 1
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- 專業(yè): 金屬材料
3樓2015-10-27 10:15:09
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