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睡睡誰誰金蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射用的分子泵報警
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| 在抽真空時,分子泵能正常工作。 可是到了關閉分子泵時,控制分子泵的模塊示數從400開始下降,下降到30左右時,機器就會報警!!并顯示OLI,誰知道這是什么情況啊???這段時間一直這樣。。。。。。。。。。。 |

金蟲 (小有名氣)

版主 (文壇精英)
有尾巴的青蛙
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應該翻看改分子泵的說明書。 參考: 檢查輸出線是否有短路現(xiàn)象;檢查前級真空度是否過低。 第18/28頁 https://www.docin.com/p-793944571.html |

金蟲 (小有名氣)

版主 (文壇精英)
有尾巴的青蛙

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