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PLD做薄膜,基片用銀漿老是粘不住怎么回事
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| 我用PLD做薄膜,Pt基片是用的銀漿粘在基片架上的,(銀漿就是壓電陶瓷做電極、在850℃燒成的銀漿),涂上銀漿在120℃的烘箱里烘烤30min后,才安到PLD設(shè)備上。但是每次都是在抽真空的時候基片就掉下來,求大神賜教怎么回事? |
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