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TopyLy新蟲 (小有名氣)
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[交流]
玻璃基底上鍍有金屬薄膜怎么看截面和測膜厚 已有10人參與
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如題描述，在玻璃基底上鍍了一層MgY薄膜，現(xiàn)在想觀察截面情況和測量膜厚，有什么方法么？有的話該如何制樣？以前從未做過這方面的研究，特來請教各位大俠。謝謝啦~ |
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我最近正在做鍍膜界面觀測。 一、根據(jù)我的實(shí)驗(yàn)情況，用SEM觀察截面情況是比較好的。這需要做的準(zhǔn)備工作是：1、鍍膜樣品需要比較新鮮；2、將樣品用玻璃刀劃開、或是用FIB（激光離子束）切開、或是直接用手掰開。注意：① 弄開的截面需要做噴金或噴鉑處理，增強(qiáng)導(dǎo)電性；② 此外樣品不能太大，否則制樣噴金不好處理；③弄開后需要對表面進(jìn)行吸塵處理，吸走表面的顆粒，否SEM觀測會有一定影響；④ 觀察到截面后，可以對截面劃線掃能譜圖，確定沿線的物質(zhì)成分，確定是否是MgF。 在完成上訴準(zhǔn)備后可在SEM上看到比較明顯的基底和鍍膜分層，通過測量即可得知厚度。 二、根據(jù)我的了解，TEM觀測制樣非常復(fù)雜，需要最終將樣品加基底減薄至50μm后，這個過程需要很多道工序，對于鍍膜樣品來說，這一過程很可能會對表面膜層造成損壞。至于厚度測試，我尚不清楚。 三、采用臺階儀測試。對于要求不高的樣品，可以在鍍膜前預(yù)先在基底上貼上膠帶，待鍍膜完成后，撕去膠帶，即可看到臺階。不過臺階儀如果測試的厚度在幾十個納米的話，結(jié)果可能不準(zhǔn)，當(dāng)然視設(shè)備情況而定。 四、采用橢偏儀測量。橢偏儀是基于光干涉原理間接計(jì)算膜厚。前提是，在橢偏儀的數(shù)據(jù)庫中需要有你的基底和鍍膜材料的光學(xué)參數(shù)，包括折射率n、吸收率k、大致的厚度。同時還以通過擬合反求你的樣品的折射率等參數(shù)。 以上是我了解的一些情況。 |
14樓2015-10-30 14:21:53
| SEM |
2樓2015-10-29 13:15:36
TopyLy
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3樓2015-10-29 13:20:10
wanghuaxing 
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4樓2015-10-29 21:12:16
5樓2015-10-29 22:10:20
TopyLy
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6樓2015-10-30 09:37:49
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7樓2015-10-30 09:50:08
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8樓2015-10-30 11:36:11
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9樓2015-10-30 12:41:23
10樓2015-10-30 13:13:02
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